作者cjol (勤朴)
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标题[新闻] 陆传EUV光刻技术获重大突破 前ASML科学
时间Fri May 2 22:00:21 2025
作者: cjol (勤朴) 看板: Tech_Job
标题: [新闻] 陆传EUV光刻技术获重大突破 前ASML科学
时间: Fri May 2 21:51:34 2025
作者: noposo (尼波) 看板: Gossiping
标题: [新闻] 陆传EUV光刻技术获重大突破 前ASML科学
时间: Fri May 2 10:52:12 2025
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1.媒体来源:
ETtoday 20250501
2.记者署名:
魏有德
3.完整新闻标题:
陆传EUV光刻技术获重大突破 前ASML科学家林楠主导
4.完整新闻内文:
https://cdn2.ettoday.net/images/8198/8198054.jpg
大陆中科院上海光学精密机械研究所近日传出前ASML首席科学家林楠率领研究团队，绕过
二氧化碳激光（雷射光，下同），使用固体激光器技术，成功开发出LPP-EUV光源，已达
国际领先水准，对大陆国产芯片（晶片，下同）及自主研发EUV光刻机具重大意义和突破
。
林楠团队的研究成果发表於《中国激光》期刊杂志第6期（2025年3月下），该团队研究人
员估计，光源实验平台的理论最大转换效率可能接近6%，团队正计划增加进一步的研究，
未来有望进一步实现国产EUV光刻技术。
公开资讯显示，EUV光刻机中最核心的分系统是激光等离子体（LPP）EUV光源，其中，二
氧化碳激光器激发的Sn等离子体 CE大於5%，是ASML光刻机的驱动光源，这类光源技术由
美国Cymer制造，属於全球垄断地位。
在光刻机关键技术「卡脖子」的情况下，林楠团队考虑使用固体脉冲激光器代替二氧化碳
激光作为驱动光源，但能量效率仍需进一步提升。现阶段研究成果显示，林楠团队1um固
体激光的CE最高可达3.42%，超过荷兰和瑞士研究团队的水平，虽仍未超过4%，但已达到
商用光源5.5%转化效率的一半。
至於该研究团队的领衔人物林楠拥有众多身份，他是大陆中科院上海光机所研究员、博导
，大陆国家海外高层次人才，超强激光科学与技术全国重点实验室副主任，精密光学工程
部技术总师，中国仪器仪表学会集成电路分会委员，中国光学工程学会微纳专委会委员，
曾任荷兰ASML公司研发科学家、研发部光源技术负责人。
林楠主攻机体电路制造光刻光源以及芯片量检测光源研发与工程应用研究，师从2023诺贝
尔物理学奖得主「Anne l'Huillier」。
截止目前为止，林楠申请及授权美、日、韩等国国际专利110余项，多项专利已完成产品
转化搭载在最新型光刻机及量检测设备中。
5.完整新闻连结 (或短网址)不可用YAHOO、LINE、MSN等转载媒体:
https://www.ettoday.net/news/20250501/2952975.htm
心得
真的假的
中国科研这麽威?
还是年年有突破
岁岁买俄货的翻版?
能对台湾的半导体造成冲击吗
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 111.255.48.71 (台湾)
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※ 转录者: cjol (1.168.97.210 台湾), 05/02/2025 21:51:34
※ 编辑: cjol (1.168.97.210 台湾), 05/02/2025 21:52:15
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
※ 转录者: cjol (1.168.97.210 台湾), 05/02/2025 22:00:21
※ 编辑: cjol (1.168.97.210 台湾), 05/02/2025 22:00:56
1F：推 cuteSquirrel: hand written chip 05/02 22:00
2F：→ tctv2002 : 当你什麽都没有的时候 就会专心自己升级了... 05/02 22:01
※ 编辑: cjol (1.168.97.210 台湾), 05/02/2025 22:02:11
3F：→ truelove356 : Icrose S213爬梯翻墙列队上班 05/02 22:02
4F：推 Ensidia : 这些消息已经看得很腻了...每年都关键突破 05/02 22:02
5F：→ chinaeatshit: 中国本来就是你越逼他 他就越强 05/02 22:02
6F：→ tctv2002 : 中国也不缺人才 满满的肯卖肝的人矿 05/02 22:02
7F：推 ccdg : 说绕过的，搞不好还是抄人家专利。中国又没在怕 05/02 22:03
8F：推 sean05269 : 能量又不到 只能曝屁眼吧 05/02 22:03
9F：推 c1951 : 买不到ASML光刻机 就直接挖ASML的人来中国 嘻嘻 05/02 22:04
10F：→ junior020486: 市场没反应 05/02 22:04
11F：→ sixkeeper : 问就是弯道超车，中国恐成领头羊 05/02 22:04
12F：→ tctv2002 : 他们会花钱 挖角供应商的人 来教学 上课 05/02 22:04
13F：推 cliche : 支那中吹大军5分钟後到达 05/02 22:04
14F：→ freshman : 中又赢～ 05/02 22:05
15F：嘘 INGNI : 板上搜寻asml，以前半年发一次重大突破 05/02 22:05
16F：→ INGNI : 现在已经加速到两个月发一次了喔，呵呵 05/02 22:05
17F：→ tctv2002 : 中虽然真的很会吹 但持续在进步 也是不争的事实 看 05/02 22:05
18F：→ tctv2002 : 看韩国短短几年 产业快被卷死 05/02 22:05
19F：→ tonyshan : 突破再突破 05/02 22:06
20F：→ tctv2002 : 一堆人还没有危机意识 ... 05/02 22:06
21F：推 richaelchen : 东风快递 应该不是吹的 05/02 22:06
22F：推 TIPPK : 老黄讲大陆紧追在後，大家应该觉得是假的吧 05/02 22:06
23F：→ dennis06 : 遥遥领先 05/02 22:06
25F：→ TIPPK : 川普如果真的关税乱搞四年，可能就会被追上 05/02 22:07
26F：推 s213092921 : 越来越多风声出来了，内心平静 05/02 22:07
27F：推 cake10414 : 老黄说中国AI... 不 一定追不上的对吧? 05/02 22:08
28F：→ s213092921 : 下半年麒麟9030就是国产5nm，差不多是台积电3-4nm的 05/02 22:08
29F：→ s213092921 : 程度吧 05/02 22:08
30F：推 metallolly : 楼下 05/02 22:09
32F：→ s213092921 : 台积电5nm 05/02 22:09
33F：推 gokuhwanlai : 我独自升级 05/02 22:10
34F：→ cdcardabc : 中又赢 05/02 22:11
35F：推 ariadne : 拜托对中国宣传要有信心好吗？看看之前狂吹过的突 05/02 22:12
36F：→ ariadne : 破进步现在怎麽了好吗？武汉肺炎疫苗之父、航母总 05/02 22:12
37F：推 xiaoyao : 相当台积5nm XDD 良率多少？ 05/02 22:12
38F：→ ariadne : 工程师、C919总指挥、半导体大基金掌控人…那个不 05/02 22:12
39F：→ ariadne : 是宣传完过几年啷当下狱，只能说这这林楠已经上未 05/02 22:12
40F：→ ariadne : 来清算清单了 05/02 22:12
41F：→ kashiwasan : 人家当成国家战略在搞，做出来是时间问题 05/02 22:12
42F：嘘 Manslayer69 : 哈哈哈，那麽强干嘛整天弯道下单，搞得台积被罚款 05/02 22:13
43F：→ KCKCLIN : XD会信的高机率都是... 05/02 22:13
44F：→ KCKCLIN : 看完全执政恶搞数十年还投过的OO幻想自己有脑/支那 05/02 22:14
45F：→ tonyshan : 五年前就在传了 现在还在传 05/02 22:14
46F：→ Manslayer69 : 对吼，C919差点忘了，上面中吹前几年也吹上天，结 05/02 22:15
47F：→ Manslayer69 : 果关键零组件全部国外进口，中国负责最重要的 05/02 22:15
48F：→ Manslayer69 : 组装 05/02 22:15
49F：→ KCKCLIN : 扣除月光外 有投资的谢谢有你们贡献报酬 05/02 22:15
50F：推 c1951 : 欧美西方媒体继续造谣抹黑洗脑宣传 中国继续突破 哈 05/02 22:16
51F：推 tnssh211448 : 整篇支语... 05/02 22:16
52F：推 QooSnow : （熊猫：）（~这只是众多招数中的一个小招！~）（~ 05/02 22:17
53F：→ QooSnow : 爸爸就吓到啦！~）（嘻嘻。） 05/02 22:17
54F：推 ksjr : 台积不转变成美积，可能就会被追上 05/02 22:18
55F：推 NEWinx : 再突破个20年看能不能追上GG 05/02 22:18
56F：推 gg0079 : 真弄得出来肯定暗地是偷着做 会上版面炒作就是椪风 05/02 22:19
57F：嘘 lmc66 : 曝光机啦 05/02 22:21
58F：推 seou : 1百多项专利好猛 05/02 22:22
59F：推 gg0079 : 能就直接上小米和华为的旗舰机吹牛逼了 05/02 22:22
60F：→ cprodi : 超英赶美 05/02 22:23
61F：→ zpeople0116 : 贴本作晶片，白痴到有剩！良率不知道有没有20% 05/02 22:24
62F：推 barhusee : 中国未来的强权，做晶片200奈米指日可待 05/02 22:26
63F：推 Brioni : 好险还没到商业等级，至少还要半年到一年吧？ 05/02 22:26
64F：嘘 KISS1979 : 台或赢 台又赢 台双赢 跪麻了 tea tailwan 05/02 22:27
65F：→ Brioni : 等商用原型机出了再评估还有多远，现在都是云 05/02 22:28
66F：→ Brioni : 原型机到上线调校至可以大量生产又是一大段路 05/02 22:29
67F：推 sketdenny : 中又赢 05/02 22:32
68F：推 abbkg : 有可能啊，围堵迟早会找到出口 05/02 22:38
69F：推 kducky : 且听龙吟 05/02 22:39
70F：推 jei01 : 他们是真的有人才，你叫印度逆向还逆不出来 05/02 22:40
71F：推 vdrenike : 有用吗，美国下令不准买，卖给谁？ 05/02 22:40
72F：推 hitguy : ASML涨 05/02 22:42
73F：嘘 pp520 : 每年突破，都懒得看了 05/02 22:43
74F：推 f860506 : 我独自升级 05/02 22:44
75F：→ DAEVA : 真的完了 05/02 22:46
76F：→ s213092921 : 中国国产EUV直接打趴成本价，最後就是谁要买台积电 05/02 22:49
77F：→ s213092921 : ？ 05/02 22:49
79F：→ s213092921 : 了100倍，看谁要买贵松松的 05/02 22:50
80F：推 grku : 台湾人崩溃 05/02 22:50
81F：嘘 PoloHuang : 又要骗$罗 05/02 22:51
82F：嘘 pp520 : 楼上，功能接近是你在讲的，有实绩吗 ? 05/02 22:53
83F：嘘 river98 : 哈哈哈哈哈哈 05/02 22:53
84F：嘘 judy13857 : 现在一堆人都在玩chatgpt的图像好吗 05/02 22:53
85F：→ pp520 : 这种东西没实战都是吹牛居多，ASML 是实战过的 05/02 22:54
86F：→ pp520 : 尤其是精度这东西，中国差欧美太多了 05/02 22:54
87F：→ judy13857 : 我看s2130根本没去用过两者的差异吧，不然就只有简 05/02 22:54
88F：→ judy13857 : 单用一下 05/02 22:54
89F：推 lusifa2007 : 什麽时候可以商用再来说嘴 实验室环境都做不到商用 05/02 22:55
90F：→ lusifa2007 : 水准 废物吗 05/02 22:55
91F：→ pp520 : 机床，精密测量加工，这个都是百年企业百年经验 05/02 22:55
92F：→ pp520 : 光 蔡司镜片，我请问中国要如何突破 ? 05/02 22:55
93F：→ judy13857 : 上次放出R2消息，股市完全没反应，看起来一堆人还是 05/02 22:56
94F：→ judy13857 : 选择贵松松的 05/02 22:56
95F：→ judy13857 : 现在一堆人用贵松松产图产的很爽的 05/02 22:57
96F：推 opticalman : 死命禁硬体软体根本没用， 05/02 22:59
97F：→ opticalman : 关健人材是破口 05/02 22:59
98F：推 jo78jo78 : 我相信是真的，这二年跟他们半导体设备商交流後发 05/02 23:00
99F：→ jo78jo78 : 现进步神速 05/02 23:00
100F：推 opticalman : 中国狂挖台湾欧美工程师，破口 05/02 23:02
101F：→ hsu0612 : 人矿优势 05/02 23:13
102F：嘘 MP357 : 换个新的讲好吗？听腻了啦！嘻嘻 05/02 23:14
103F：推 SakuraHana : 现在是盖20的六轻打趴台塑，过一阵子就是20家1奈米 05/02 23:14
104F：→ SakuraHana : 厂打爆台机电 05/02 23:15
105F：→ afra : 中国没在管良率的啦。国有企业。赔钱都可以生产 05/02 23:19
106F：推 ilGroundhog : 没这麽快 这东西是世界各国的结晶产物 05/02 23:21
107F：推 jeffguoft : 台湾人就剩意识形态跟键盘能嘘了，趁统一前多嘘点 05/02 23:21
108F：→ ilGroundhog : 不然为什麽中国想尽办法要进口算力卡 05/02 23:22
109F：推 heart9677 : 确实…你又不可能不发专利，我抄顶多我不能卖你，罚 05/02 23:24
110F：→ heart9677 : 钱政府买单，我就破罐子破摔你拿我怎样 05/02 23:24
111F：推 pt993526 : 这次第几次突破了 05/02 23:26
112F：推 tonylolz : 假 05/02 23:27
113F：嘘 s114752 : 又淫了？ 05/02 23:28
114F：推 HuntBear : 骗补助用的 北七才当真 05/02 23:31
115F：推 g0t24568 : 虽然中共可恶 但说实在他们真的很强 05/02 23:31
116F：→ DustToDust : 人家是国家在搞 时间问题而已 05/02 23:31
117F：推 gg0079 : 当初全国之力搞大炼钢也是时间问题 但这就是问题 05/02 23:37
118F：→ HsihHan : 真的做出来 狡兔死走狗烹 所以永远保持研发阶段 05/02 23:38
119F：嘘 moto700 : 有爱支病什麽都会信啦,柯柯 05/02 23:41
120F：→ KCKCLIN : XD脑子正常以上都知道实情，不用幻想扣意识型态lol 05/02 23:44
121F：推 RTAngel : 已读 05/02 23:44
122F：推 bathhouse : 只要新闻有传的字眼，就不要太相信。看新闻做股票 05/02 23:45
123F：→ bathhouse : 就是笨蛋 05/02 23:45
124F：推 kiou : 看过F1就会造F1?捧中笑台的有多少懂ASML原理啊 笑死 05/02 23:56
125F：→ bryan2262 : 人才这麽多，认真研发是满有机会的 05/02 23:57
126F：推 jagger : 十年後再讨论 05/03 00:00
127F：嘘 sheo99 : 这种文定期发几次了 05/03 00:02
128F：→ sheo99 : 还是有中吹配合着吹 05/03 00:02
129F：→ flybow : 从5G跟AI的发展来看 把世界第二当成笑话 神勇 05/03 00:05
130F：推 irridiance : 到底是多低能才会相信这些鬼话，连面板的曝光机（ 05/03 00:06
131F：→ irridiance : 阿六光刻机）都还在死命买尼康佳能 05/03 00:06
132F：→ judy13857 : 楼上你上面那个就符合你讲的低能了 05/03 00:14
133F：推 a606152004 : ChatGPT 还是比ds 好用 05/03 00:24
134F：嘘 cchh179 : 这事情很严重欸 股版为何满满的不屑？ 05/03 00:26
135F：→ cchh179 : 中国如果绕开ASML专利 超越台积电只是时间问题... 05/03 00:28
136F：推 ariadne : 因为这只是有机会突破其中一个模组 还有一堆壁垒待 05/03 00:29
137F：→ ariadne : 突破 不像文中吹的不用几年就取代 05/03 00:29
138F：→ ariadne : 不然你以为那麽重要的人ASML会放出来？ 05/03 00:30
139F：→ flybow : 说人家低能的 照一下镜子 有没有像 05/03 00:36
140F：嘘 liscp : 诶诶诶 DS就演过一次了 同一批人马就别闹了 小心被 05/03 00:42
141F：→ liscp : 某人举报亲共 05/03 00:42
142F：推 AirLee : 你以为只有光源能干吗 你还得有蔡司生产的镜片 05/03 00:45
143F：→ AirLee : 给你十年搞通现在半导体的先进制程，然後勒？ 05/03 00:45
144F：→ AirLee : 尼还有一堆特化材料拿不到….20年後 美国早就不知 05/03 00:47
145F：→ AirLee : 道飞去哪里了 05/03 00:47
146F：嘘 kausan : 都喷到宇宙了还在说这个，难怪赔钱笑鼠 05/03 00:47
147F：→ AirLee : 然後你还DS n代 05/03 00:48
148F：→ kausan : 严重在那边 赔钱很严重是没错 05/03 00:48
149F：→ warin : 怕什麽,如果这麽强不就统一了吗,各族群皆大欢喜 05/03 00:48
150F：→ warin : 干嘛还需要这样敲锣打鼓四处吹嘘 05/03 00:50
151F：→ Taiwanwolf : 美国爸爸收割台湾，gg就gg了 05/03 01:01
152F：推 NEWinx : 跟ChatGPT比，DS跟垃圾差不多，小粉红都不敢吹了 05/03 01:06
153F：→ judy13857 : 所以你刚跑去照镜子吗 05/03 01:28
154F：嘘 djhero : 这要商用还得10年耶 05/03 01:30
155F：嘘 djhero : 查就知道这帐号带任务发文的 05/03 01:32
156F：嘘 baka1412 : 整天突破 05/03 01:35
157F：推 ChikanDesu : 西方科学家是人 东方的也是人阿 科科 更不用说一大 05/03 01:56
158F：→ ChikanDesu : 堆中国人写论文 05/03 01:56
159F：嘘 focoket12 : 这种拆那破新闻天天放卫星的，真正突破他们不会讲 05/03 02:09
160F：→ focoket12 : 的！ 05/03 02:09
161F：→ flybow : 所以你刚照完 结果如何 验证一下低能看别人都低 05/03 02:32
162F：→ flybow : 到底是不是真的 05/03 02:32
163F：→ b0364864 : 手工刻+1 05/03 03:06
164F：→ judy13857 : 没人会听低能的话去做事吧 05/03 03:20
165F：推 a96932000 : 即便他把10分吹成100分,但只要逐步累积10分的进度 05/03 03:41
166F：→ a96932000 : 那也是种进步 05/03 03:42
167F：→ a96932000 : 只要他没有80分90分的东西可以用,也只能慢慢从10分 05/03 03:43
168F：→ a96932000 : 去累积 05/03 03:43
169F：→ CMCC : 终於累积到100分，总分也成长到10000分了 05/03 03:45
170F：推 micotosai : 连佳能都打不赢了还asml 哩 05/03 04:21
171F：推 nn1975 : 不会又被消失吧 05/03 04:49
172F：推 maxangel : 看推文一堆意识型态作祟 就觉得好笑 05/03 05:22
173F：→ maxangel : 想当初面板也是笑人家良率 现在台湾？？ 05/03 05:23
174F：→ maxangel : 对岸很多产业卷的很厉害 尤其是硬体 05/03 05:24
175F：推 gbman : 对岸是没先进制程!但成熟制程已经打挂联电了CC 05/03 06:26
176F：→ gbman : 台湾还真没啥基础技术研发!主要还是靠美国CC 05/03 06:27
177F：→ gbman : 所以美国人要搞GG太简单了!啥都被卡脖子CC 05/03 06:29
180F：嘘 mark117 : 笨蛋上当 05/03 07:38
181F：推 mudvayne : 钟佑盈：谁叫我？ 05/03 07:48
182F：推 AirLee : 看到这边一堆秀自己脑袋下线的发言耶，三星没人卡 05/03 07:54
183F：→ AirLee : 他脖子照理说不是应该已经研发到.7奈米了。 05/03 07:54
184F：→ AirLee : 现在5奈米以下几乎是gg的天下 05/03 07:55
185F：推 xiaoyao : 举面板例子也很好笑。面板技术门槛又不高 05/03 08:24
186F：推 gbman : 你有技术美国要玩你也没用!封你机台耗材你就玩完CC 05/03 08:31
187F：→ gbman : 日本当初技术半导体技术也是一流还是被美国玩死CC 05/03 08:32
188F：→ gbman : 你只要其中一个半导体技术要用美国的就被卡死CC 05/03 08:34
189F：嘘 verydolungbe: 中国持续“进步”（X）持续“山寨”（O） 05/03 10:59
190F：推 s213092921 : 中国就是全零件国产化的，还在幻想美国卡脖子…… 05/03 11:38
191F：→ judy13857 : 又一个低能 05/03 11:49
192F：→ RTX3080TI : 中又赢 05/03 12:40
193F：推 ariadne : 上次吹曝光机自产成功是拿上海微电子的检测设备在 05/03 22:25
194F：→ ariadne : 唬烂 这次直接吹纸面 越来越退步了 05/03 22:25
195F：推 bigtree03 : 年年突破，中又赢 05/03 22:51
196F：推 whc760123 : 很好 但是问题不仅是drive laser 还有很多问题 我想 05/04 00:16
197F：→ whc760123 : 他如果之前做过ASML就知道 路还很远 05/04 00:16
198F：→ southes : 支那嘴炮第一 05/04 05:21
199F：推 s213092921 : LPP及LDP路线都有不同的重大进展，验证之前的谣传不 05/05 12:26
200F：→ s213092921 : 同中国团队各自研发EUV路线 05/05 12:26