作者utn875 (utn875)
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标题[新闻] 机台拖累晶圆制程 统计模型有解
时间Thu Nov 20 01:02:08 2014
http://www.chinatimes.com/realtimenews/20141119003920-260412
机台拖累晶圆制程 统计模型有解
2014年11月19日 16:14
中央社
半导体业是台湾高科技业的领头羊，晶圆制程的良率更是产能的关键因素，中研院研究
员银庆刚率领的研究团队以统计模型找出「狗」机台，让台积电制程不良率大幅下降。
银庆刚说，台积电把良率高的机台称为「黄金」机台，良率低的机台则为「狗」机台，
透过寻找资讯的相关性及排除虚假相关，就可筛选出有问题的「狗」机台，有效降低不
良率。
中央研究院统计研究所研究员银庆刚是国内率先研究高维度回归模型的统计学家之一，
与中央研究院院士美国史丹福大学统计系教授黎子良「P大N小」的研究成果，2011年底
登上国际统计期刊Statistica Sinica的主要文章：黎子良目前正利用这套模型协助英特
尔公司。
银庆刚解释，晶圆制程要经过数千道关卡，需经大量机台加工，假设P为机台，N为晶圆
数量，在「P大N小」情况下，研究团队挑战在於如何利用少数晶圆成品，在大量的机台
中寻找出制程中关键的机台，等於是大海捞针，过程就像找出大明星的杀手一样困难。
研究团队之一的高雄大学统计学研究所副教授俞淑惠表示，利用台积电提供的数据，不
用进到现场，就可让台积电尚未量产的晶圆制程不良率下降11%至14%，甚至停止使用可
能产生问题的机台，还可让不良率下降至3%以内。 他举例，如以400个晶片数及4000个
机台计算，经过1000次实验，可成功抓出「狗」机台的次数为980次，但参数讯息的强度
也占有决定性因素。
银庆刚指出，这套模型只要是牵涉到利用资讯寻找凶手，都可以运用上，如环保署、中
钢等都表达兴趣，正在洽谈计画案。1031119
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借新闻一问，大家工作中真的有在用高阶的统计学吗？
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※ 编辑: utn875 (114.42.235.75), 11/20/2014 01:04:38
1F：推 MeiHS: 楼下PE就是打基高手 11/20 01:06
2F：推 knowlife: 对中基台,又找不出问题,有屁用 11/20 01:08
3F：→ YKM519: ...如果真的这麽威早就被GG买断了吧 11/20 01:09
4F：→ ljsnonocat2: 这不晓得是单纯用统计的方式? 没考虑layer制程特性? 11/20 01:26
5F：嘘 minnaQQQQQQQ: 喇叭 11/20 01:52
6F：→ ljsnonocat2: 2F 找到机台 就禁掉阿 直到PE/EE能保证ok 11/20 01:54
7F：→ hertzianwave: 推ljsnonocat2正解..... 11/20 01:56
8F：推 q169: 听到dog tool 就很有感觉了....leading 抓不完呀.... 11/20 02:51
9F：嘘 juangpeiyi: 禁掉！？ 再坏一两台就断线了 11/20 03:54
10F：→ juangpeiyi: 根本不需要他们统计 各设备课都更清楚 11/20 03:55
11F：→ juangpeiyi: 哪些机台一堆pending issues 停机准备在 11/20 03:56
12F：→ juangpeiyi: 生产会议被highlight 到死了 宁愿冲高产能 11/20 03:57
13F：→ juangpeiyi: cover 不良 也不会去把他停下 11/20 03:58
14F：推 gogohc: 为什麽明明用加减乘除平均就可以分析的问题弄的这麽复杂 11/20 07:40
15F：嘘 saladim: 统计都用到晶片上的每个layer了...还在机台阿... 11/20 07:56
16F：→ ljsnonocat2: PIE谜之心声: 如果可能被客户写信过来嗨赖良率 11/20 08:31
17F：→ ljsnonocat2: 我宁可让PE/EE被嗨赖....XDDD 11/20 08:31
18F：嘘 TNRoy: 没这麽威吧 不过就是把golden抓出来 SSSH往那边塞就对了 11/20 11:04
19F：→ knowlife: 6f 制造部不是吃肉的, 尤其台积风气更扯,找不到原因 11/20 11:39
20F：→ knowlife: OP HL 几次就硬着头皮放了 11/20 11:40
21F：→ knowlife: PIE不了解FAB 生态.. 11/20 11:41
22F：推 amethystboy: 不是吃肉的很好啊 佛心来着的 11/20 12:35
23F：→ Adrian: 先禁掉不然就是开新机台 没时间让你慢慢研究原因 Orz 11/20 13:19
24F：推 osbsd1: 北七 抓dog tool 高中生来学操作一下报表就会了好吗 11/20 14:06
25F：→ osbsd1: 不过就是扫雷扫出golden path 这些都ETE在做的 无聊y 11/20 14:08
26F：→ osbsd1: GG也真坏 提供一个已经嗨赖完的case数据 耍耍中研院好玩吗 11/20 14:08
27F：推 osbsd1: 反正现在都马L/L当三餐在派 直接RUN过去 RUN多少算多少 11/20 14:10
28F：→ osbsd1: 谁管你dog 11/20 14:11
29F：推 shaneyeh: 我早就用统计算出下个月什麽股票会涨，抓狗？! 11/20 14:31
30F：推 gogohc: 哪些机台烂问课长最准了。 11/20 20:55