作者FTICR (FT-ICR)
看板Tech_Job
标题[讨论] FAB 中曝光机 (scanner) 的市占率
时间Fri Mar 10 22:37:01 2017
想请问在黄光区的先进问题
一说到曝光机台厂商，原本都只想到 ASML
尤其是在先进制程上，下一代 EUV 大概也得靠他们
不过最近好奇看 NIKON 193i 的机台，才发现性能和 ASML 差不多
以下是两家最新的193i机台比较：
ASML NXT:1980Di NIKON NSR-S631E
NA 0.85-1.35 1.35
Resolution ≦38nm ≦38nm
Field size 26*33 mm 26*33 mm
Overlay
(Single machine) ≦1.6 nm ≦1.7 nm
(Matched machine) ≦2.5 nm ≦2.3 nm
Throughput(96 shots) ≧275 WPH ≧270 (optional) WPH
Ref:
http://www.nikon.com/products/semi/lineup/pdf/NSR-S631E_e.pdf
https://goo.gl/EhfIsL
请问在业界这两台都有人在用吗?
还是先进制程主要仍以 ASML 居多? (N家几乎都日本半导体厂自用?)
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※ FTICR:转录至看板 Electronics 03/10 22:38
1F：推 kminer: 看规格就曝的出来要一堆工程师干嘛 03/10 22:48
确实也很好奇哪些部分是设备商负责哪些是FAB
2F：推 treeyoyo: ASML居多吧,NIKON 应该是过去dry时代的产物 03/10 22:54
但这规格是先进制程的，也代表他们有能力做?
https://goo.gl/0nzgfJ 这里有讲一些 Highlights，包含"for 7 nm node"
3F：推 fegat: NIKON还可以赚面板的曝光机 超贵的 03/10 22:58
曝面板用的应该超大台XD 但resolution应该不用很高?
4F：推 AXby: 有人买Nikon就不会搞到Nikon要裁1000人了 03/10 23:02
好吧QQ
5F：推 spadeg25620: twin scan & alignment吧 03/11 00:35
两家的 Overlay 差不多，确实可能是 dual-stage design 有差
6F：推 louis1704: 谷歌新闻a家市占有九成，减一点也有七八成吧 03/11 00:44
了解，感谢
7F：→ louis1704: 193还会往下做浸润式，还有有两个Chuck,不知道n家的有 03/11 00:46
8F：→ louis1704: 吗？如果有，品质稳定吗? 03/11 00:46
这就要问实际在用的工程师了...
※ 编辑: FTICR (219.70.186.32), 03/11/2017 01:10:25
9F：推 ardella: 很多东西是spec没法告诉你的，现在run45为了cost down是 03/11 02:04
10F：→ ardella: 可以考虑用，但是一般一直做的FAB现在折旧也差不多了，干 03/11 02:04
11F：→ ardella: 嘛还要买这种来重新折旧，更何况还要做mixmatch,怎麽算 03/11 02:04
12F：→ ardella: 都不划算 03/11 02:04
13F：推 AXby: 面板的市占Nikon就真的很高 特别是10代以上的超大面板是独占 03/11 05:33
14F：推 giggs11s: 在日本半导体厂确实N社和C社的曝光机很多，因为便宜... 03/11 08:19
15F：→ giggs11s: . 03/11 08:19
16F：推 iFann: A社强的还有软体阿..GRIDMA/DOMA 03/11 10:21
17F：推 henryrita: 别说啦 03/11 10:31
18F：推 a1zz3: 天后就一堆Nikon 03/11 12:02
19F：→ zonezone: 在半导体先进制程曝光机方面ASML独霸，其他都是捡屑屑吃 03/11 13:24
20F：→ coldbeerhere: 天后nikon都低阶dry的 03/11 14:09
21F：→ pig2014: 当你个版？还是当成台积版？ 03/11 17:44
22F：推 mingchyi: Nikon immersion 机台便宜但可靠度不佳 03/11 17:50
23F：推 otaru051: 天后宫有n牌泡水机的喔。。。 03/11 18:20
24F：推 mahament: twin chuck WPH就电爆别家 03/12 14:12
25F：推 giggs11s: twin stages的throughput不见得比较强，个人觉得差是差 03/13 16:09
26F：→ giggs11s: 在asml的机差非常的小，还有镜面不会雾化 03/13 16:09
27F：推 film: 当年拉开差距，靠的就是twinstage 03/14 01:55