作者pl132 (pl132)
看板Tech_Job
标题[新闻]陆传EUV光刻技术获重大突破 前ASML科学家林楠主导
时间Fri May 2 12:32:13 2025
陆传EUV光刻技术获重大突破 前ASML科学家林楠主导
https://www.ettoday.net/news/20250501/2952975.htm
林楠团队的研究成果发表於《中国激光》期刊杂志第6期（2025年3月下），该团队研究人
员估计，光源实验平台的理论最大转换效率可能接近6%，团队正计划增加进一步的研究，
未来有望进一步实现国产EUV光刻技术。
公开资讯显示，EUV光刻机中最核心的分系统是激光等离子体（LPP）EUV光源，其中，二
氧化碳激光器激发的Sn等离子体 CE大於5%，是ASML光刻机的驱动光源，这类光源技术由
美国Cymer制造，属於全球垄断地位。
在光刻机关键技术「卡脖子」的情况下，林楠团队考虑使用固体脉冲激光器代替二氧化碳
激光作为驱动光源，但能量效率仍需进一步提升。现阶段研究成果显示，林楠团队1um固
体激光的CE最高可达3.42%，超过荷兰和瑞士研究团队的水平，虽仍未超过4%，但已达到
商用光源5.5%转化效率的一半。
至於该研究团队的领衔人物林楠拥有众多身份，他是大陆中科院上海光机所研究员、博导
，大陆国家海外高层次人才，超强激光科学与技术全国重点实验室副主任，精密光学工程
部技术总师，中国仪器仪表学会集成电路分会委员，中国光学工程学会微纳专委会委员，
曾任荷兰ASML公司研发科学家、研发部光源技术负责人。
林楠主攻机体电路制造光刻光源以及芯片量检测光源研发与工程应用研究，师从2023诺贝
尔物理学奖得主「Anne l'Huillier」。
截止目前为止，林楠申请及授权美、日、韩等国国际专利110余项，多项专利已完成产品
转化搭载在最新型光刻机及量检测设备中。
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 180.177.1.4 (台湾)
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/Tech_Job/M.1746160335.A.2FF.html
1F：嘘 zonppp : 遥遥领先~ 36.226.216.17 05/02 12:40
2F：推 jeff0010053 : 三星Intel 拿euv也没做比较好.. 先 63.140.2.151 05/02 12:48
3F：→ jeff0010053 : 进制程很多奇怪的问题不是只卡在e 63.140.2.151 05/02 12:48
4F：→ jeff0010053 : uv 而已 63.140.2.151 05/02 12:48
5F：推 godog : 想看梁孟松有EUV後 可以把中国半岛 60.248.111.135 05/02 12:56
6F：→ godog : 体 推进到什麽程度 60.248.111.135 05/02 12:56
7F：推 FK6819 : 梁孟松在三星不是示范过有EUV了吗 203.66.245.211 05/02 13:37
8F：→ FK6819 : ？ 203.66.245.211 05/02 13:37
9F：推 ohohohya : 嗯嗯 intel好像也很多台euv 然後就 111.80.225.182 05/02 13:50
10F：→ ohohohya : 没有然後了 111.80.225.182 05/02 13:50
11F：嘘 rodion : 路你老 136.226.241.23 05/02 14:20
12F：推 Killercat : 其实AMSL锡蒸气光源一直不是啥秘密 57.140.96.40 05/02 14:46
13F：→ Killercat : 虽然细节是商业机密 但是总有个大 57.140.96.40 05/02 14:46
14F：→ Killercat : 方向，要自己走另一条路应该是有什 57.140.96.40 05/02 14:47
15F：→ Killercat : 麽理由才是 57.140.96.40 05/02 14:47
16F：→ olozil : 卡专利跟管制阿 42.72.207.54 05/02 15:08
17F：→ ssddeeww : 跟大陆谈专利？ 27.51.57.100 05/02 15:26
18F：→ Killercat : 他们EUV要卯足全力又不卖海外的话 57.140.96.40 05/02 15:41
19F：→ Killercat : 专利应该不会是他们的考量 57.140.96.40 05/02 15:41
20F：推 woulin : 中国即将攻克EUV, GG还能有多久优114.137.110.178 05/02 16:45
21F：→ woulin : 势114.137.110.178 05/02 16:45
22F：推 RTA : 重点是中国有梁孟松啊，人家有EUV 101.8.78.121 05/02 17:16
23F：→ RTA : 再把台积那套良率提升导入，会比英 101.8.78.121 05/02 17:16
24F：→ RTA : 特尔三星还快 101.8.78.121 05/02 17:16
25F：推 scitamehtam : 推，愿意投资尖端技术，观念正确223.140.166.146 05/02 18:16
26F：推 scitamehtam : 陆方在软体、电动车、无人机、新能223.140.166.146 05/02 18:18
27F：→ scitamehtam : 源、造船、面板几乎称霸，现在资源223.140.166.146 05/02 18:18
28F：→ scitamehtam : 往半导体去，一项一项突破，至少比223.140.166.146 05/02 18:18
29F：→ scitamehtam : 台湾还在吃台积电老本有远见，台湾223.140.166.146 05/02 18:18
30F：→ scitamehtam : 还在意识形态内斗中223.140.166.146 05/02 18:18
31F：推 apple123773 : 痾...喜欢就好XDD 36.233.245.235 05/02 18:54
32F：嘘 NTUCS5566 : 台积吃老本耶 嘻嘻 111.80.3.188 05/02 20:10
33F：嘘 keter007 : 吹很大 1.161.199.201 05/02 20:42
34F：推 maikxz : CO2转换雷射效率约20%左右 111.249.25.222 05/02 21:45
35F：→ maikxz : 固态雷射远远不及气体雷射 111.249.25.222 05/02 21:45
36F：→ maikxz : 其他的还可以，但大雷射只能用气体 111.249.25.222 05/02 21:46
37F：推 focoket12 : 笑死 真以为梁孟松有那麽多料呀！ 67.138.178.169 05/03 06:27
38F：→ focoket12 : 没发现他经手的东西都是亏钱烂尾的 67.138.178.169 05/03 06:27
39F：→ focoket12 : 多吗？什麽三星发热呀！中兴良率低 67.138.178.169 05/03 06:27
40F：→ focoket12 : 报的七奈米！ 67.138.178.169 05/03 06:27
41F：推 goisjkps : 最中幻想 114.37.93.54 05/05 21:31
42F：→ momo348894 : 川普：都是我的 27.53.19.82 05/07 13:23